氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業儀器，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

1 簡介
上海妤林真空設備技術有限公司，座落于上海市嘉定區新建一路2255號產業園，是一家專門從事氦質譜和真空產品研發、生產和銷售的高科技企業。
妤林匯集了一批專門從事氦質譜及真空產品開發、研究的精英，技術力量雄厚。技術部門主要技術人員，有著三十多年的氦質譜和真空產品研制經驗。技術中堅力量穩定，為產品的科學性和穩定性提供了堅實基礎。
妤林研發部門擁有豐富的氦質譜檢漏儀設計生產經驗，公司自主研發的JQ系列氦質譜檢漏儀在市場上廣受好評。 
經過多年技術沉淀和自主研發，妤林已在氦質譜真空領域建立了很強的技術矩陣。我司新推出的妤林JQ-3300型全自動氦質譜檢漏儀，性能達到-12次方的氦檢水平。 
不馳于空想，不騖于虛聲。妤林售后部門備有專業技術人員負責指導安裝，調試及維修，并長期供應配件。我司恪守：“質量是生命的源泉，服務是無盡的路程”的企業宗旨，對內嚴格推行質量管理體系，對外進行技術指導和技術培訓。多年來，上海妤林以穩定優良的產品品質，完善的售后服務深受廣大用戶信賴。

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1.1  氦質譜檢漏儀介紹 
   ◆ 妤林JQ-3300全自動氦質譜檢漏儀采用德國PfeifferVacuum定制分子泵，極大提高儀器對氦氣的感應速度和氦檢性能。
   ◆ 全自動液晶觸摸彩屏顯示，實現了氦檢智能自動化，操作簡便、美觀大方。
   ◆ 離子源燈絲，采用氧化釔銥金燈絲，可以提高燈絲壽命和機器穩定性。
   ◆ 電磁閥采用自主研發設計的組合模塊，適配氦檢儀真空氦檢，更科學、更可靠。
   ◆ 180 度非均勻磁場的質譜室設計，提高了氦檢儀的效果和反應時間。
   ◆ 電氣部件采用模塊式設計，使維護更方便，信號干擾更少，檢漏效果更好。
   ◆ 放大器采用妤林原創元素腐蝕晶圓,降低了氦檢儀本身的噪音，提高了儀器的靈敏度和檢漏效果。
   ◆ 妤林JQ-3300使用的高性能質譜系統，具有氦檢靈敏度高，測量范圍寬，檢漏壓強高，響應時間快等特點。

1.2  妤林JQ-3300氦質譜檢漏儀主要技術參數
   1、最小可精確檢漏率：5×10-13Pa·m3/s
   2、漏率顯示范圍：1×10-1—1×10-13Pa·m3/s
   3、啟動時間：≤3min
   4、響應時間：≤1s
   5、檢漏口最高壓力：1500Pa
   6、電源要求：220V，50Hz，單相，10A
   7、工作環境：5-35℃
   8、相對濕度：≤80%
   9、外形尺寸：600（W）×520（D）×820（H）
   10、重量：40kg

1.3  妤林JQ-3300氦質譜檢漏儀主要配置

上海妤林_JQ-3300氦質譜檢漏儀

1.4  售后服務
   1   整機提供一年質保，離子源提供兩年質保
   2   保修期內免費上門服務
   3 售后電話：19121291420     傳真：021-57723117

2基本操作
2.1 運輸和安裝
客戶在確認收貨時，請確保本產品并未在運輸過程中損壞。若產品有損壞情況，應在運輸人員在場情況下進行檢測，并通知上海妤林制造商。本公司建議：
   保留氦檢儀包裝，在之后的產品運輸或貯存時使用。
   產品停用時，將進氣管道保留在進氣接口。
   產品停用時，請將管塞保留在預抽泵連接管上。
   妤林JQ-3300氦檢儀應該安裝在水平且平整的平面上，保證機器本體進氣口朝上。
   檢查氦檢儀和手推車尺寸和安裝位置是否恰當，有條件的生產環境下建議利用帶有滑輪組的搬運設備來移動本機器。

工作單位將JQ-3300氦檢儀投入生產環境前的準備條件（優化測量精確度和速度）：
   首先必須對氦檢儀本體的清潔度以及干燥度進行檢測，避免任何由水，油漆，蒸汽以及清潔劑留下的痕跡。
   使用與氦檢儀進氣口規格等同的管道，連接工件的距離盡量短并且完全密封。
   確保所檢工件未受氦氣等檢測氣體滲透。
   當為氦檢儀搭建預抽泵管道系統時，需要對整個系統執行氣密性檢測，確保真空系統和閥門正確連接。

使用單位不當使用將導致失去索賠和保修權利。使用目的與方法不當均視作不當使用，尤其是：
   抽送腐蝕性液體，易燃性液體，反應性液體，毒性液體和爆炸性液體。
   抽吸液體
   抽送塵埃或固體顆粒
   抽吸冷凝液體
   在具有爆炸危險的工作環境中使用
   氫氣濃度高于5%
   使用手冊中未描述的附件或備件

    安裝注意要點

2.2啟動和關機
2.2.1 啟動

 開機啟動畫面1

開機啟動畫面2

開機啟動畫面3

   1、開機大約需要約2分鐘。
   2、檢漏儀在工作的時候傾斜角度不能超過10°。
   3、加載進度條全滿時，自動進入主界面。

2.2.2 關機
   1、氦檢儀斷電后分子泵還在高速運轉中。完全停止需要300s。
注意：請勿在此時間內移動氦質譜檢漏儀！
   2、斷電1分鐘內不得立即重啟氦檢儀。

2.2.主操作界面

主界面開機完成后，系統顯示屏進入主界面，此時可以進行檢漏工作。
   2.2.1“檢漏設置”按鈕：進入檢漏設置界面。
   2.2.2“系統設置”按鈕：進入系統設置界面。
   2.2.3“漏率曲線”按鈕：進入漏率曲線和漏率數據顯示界面。

2.3.檢漏

自動檢漏模式下的檢漏畫面

   1、在按下“檢漏”鍵之后，檢漏儀主界面顯示當前各個電磁閥狀態和漏率實時數據。
   2、可檢漏狀態提示：在檢漏界面中，最上方小圓圈FV、24、850為紅色時，表示檢漏閥已經打開，此時可以進行檢漏。
   3、通過“系統設定”界面顯示的檢漏模式可以判斷檢漏量程。
   4、如設定高靈敏模式或精檢模式時，檢漏儀長時間無法進入檢漏狀態，則被檢工件可能有大漏導致檢漏口壓力過高，此時可以選擇自動模式進行檢漏。
   5、清零：將檢漏儀顯示的本底值作為零值。在選擇清零功能時，要注意待檢工件的漏率如果小于本底值檢漏儀將無法顯示。

2.4.1檢漏模式

   1、在檢漏狀態下，通過顯示狀態可以判斷檢漏儀所處的檢漏模式；
   2、在主界面，通過檢漏模式選擇顯示可以判斷檢漏儀所選擇的檢漏模式。顯示“自動模式”按鈕選中表示自動模式，檢漏儀按照低檢—>精檢—>高檢的順序自動選擇檢漏模式。

電壓顯示界面