當對真空室進行抽空時，為盡快達到所需壓力，真空室必須 清潔。真空系統典型的污染物包括

• 真空系統生產過程產生的殘留物 表面、螺絲釘和密封件上的油脂和潤滑劑
• 與應用相關的污染物 過程反應產物、灰塵和顆粒
• 環境相關的污染物 冷凝蒸汽，特別是吸附在容器壁上的水分。

因此，在組裝真空設備時必需確保部件盡可能清潔干凈。真 空室中安裝的所有部件必須干凈、無油脂。安裝的所有密封 也必須無油。如果不能避免使用真空潤滑脂，則必須非常小 心地使用真空潤滑脂，總而言之，是作為潤滑劑用以輔助安 裝，而不是用作密封劑。如果涉及到高真空或超高真空系 統，在裝配過程中必須佩帶清潔、不掉毛、無粉塵手套。

為獲得超高真空范圍 (<10^-8 hPa) 內的壓力，必須滿足以下條件：

• 真空泵的本底壓力應該低于所需極限壓力的 10 倍。
• 真空室和部件所使用的材料必須針對蕞小出氣量進行優 化，并且具有適當等級的表面處理。
• 應該使用金屬密封件(例如，CF 法蘭連接或 ISO 法蘭標 準的螺旋撓性密封件)。
• 清潔處理是獲取超高真空的必要條件，即:所有部件必須 在安裝前徹底清洗并必須佩帶無油脂手套進行安裝。
• 設備和高真空泵必須進行烘烤。
• 在啟動加熱器之前，必須進行真空檢漏。為此，必須使用 氦檢漏儀或四極桿質譜儀。

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烘烤顯祝增加解吸率和擴散率，而且這會導致抽吸時間大噠 縮短。 作為制造工藝的蕞后一個步驟，UHV 用途的腔室可在 溫度高達 900 °C 時進行退火。后續烘烤溫度可能達到 300 °C。 泵制造商有關高真空泵法蘭蕞高烘烤溫度的說明通 常將蕞高溫度限制為 120 °C。如果在真空設備中使用熱源 (例如，輻射加熱)，則不得超過允許的輻射功率。

設備在安裝完畢后投入運行。在達到 10^-5 hPa 的壓力后，開 啟加熱器。在加熱過程中，每間隔 10 小時就要開啟真空計并 對其脫氣。 如果使用的是經過適當表面處理的不銹鋼腔體和 金屬密封件，經過120°C 的烘烤溫度和約 48 小時的加熱過 程，就足以達到 10^-10 hPa 的壓力范圍。

烘烤應該持續進行，直至達到預期極限壓力的 100 倍。然后 關閉泵和真空室的加熱器。在冷卻后，很可能會達到所預期 的極限壓力。在壓力低于 5?·?10^-10 hPa 且內表面積較大時， 將優先使用氣體捕集泵(鈦升華泵)， 這種泵能以大體積流 率抽出從金屬中逸出的氫氣。

為避免不必要的污染，應該使用干燥的氮氣代替空氣對真空 室進行充氣保護。以防止水蒸氣和環境空氣中的其它可凝物 (如溶劑蒸汽)沉積(吸附)在容器壁上。與真空腔室抽空 作業相比，解吸過程都是十分緩慢的，所以每種可凝物都會 延長后續的抽空時間。如果已經使用惰性氣體對容器進行充 氣保護，那么只有在需要在容器內部進行必要作業時才打開 容器。由于維修人員動作造成的對流或由于擴散，長時間打 開容器將會導致環境空氣中的水蒸氣進入其中。

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